真空波紋管是一種用在超高真空系統(tǒng)中可實(shí)現(xiàn)彎曲、伸縮和偏心作用,要求有可靠的密封性能和使用壽命的一種波紋管。
真空波紋管通常會(huì)分為成型真空波紋管和焊接真空波紋管兩種,用在超高真空系統(tǒng)中的真空波紋管材質(zhì),一般選用SUS316型號(hào)不銹鋼。
制作口徑稍微大一點(diǎn)兒的成型真空波紋管,首先將不銹鋼板材卷成筒狀,接口處焊接。將圓筒插入真空波紋管模具中,通過(guò)液壓完成成型真空波紋管的制作。
在超高真空系統(tǒng)中,連接分子泵和機(jī)械泵的真空波紋管,多采用兩端為NW 法蘭的成型真空波紋管。
成型真空波紋管的優(yōu)點(diǎn)是制作簡(jiǎn)單、成本低。缺點(diǎn)是伸縮和柔韌性不足。彌補(bǔ)成型真空波紋管不足的是焊接真空波紋管。
焊接真空波紋管是將圓環(huán)狀的不銹鋼薄片,內(nèi)徑和外徑交替焊接而成的薄壁褶皺軟管。焊接方式為等離子焊,這種真空波紋管有極大的伸縮性,是超高真空系統(tǒng)的連接和各種運(yùn)動(dòng)導(dǎo)入器中不可缺少的部件。合理的選擇真空波紋管的自然長(zhǎng)度,使用壽命可達(dá)數(shù)十萬(wàn)次以上。